Micro electro mechanical system design /
Allen, James J.
Micro electro mechanical system design / James J. Allen. - Boca Raton : Taylor & Francis, 2005. - 465 p. : ill. ; 23 cm. - Mechanical engineering ; 192. . - Mechanical engineering (Taylor & Francis) ; 192. .
Incluye referencias bibliográficas e índice.
Ch. 1. Introduction -- Ch. 2. Fabrication processes -- Ch. 3. MEMS technologies -- Ch. 4. Scaling issues for MEMS -- Ch. 5. Design realization tools for MEMS -- Ch. 6. Electromechanics -- Ch. 7. Modeling and design -- Ch. 8. MEMS sensors and actuators -- Ch. 9. Packaging -- Ch. 10. Reliability.
0824758242 (alk. paper) 9780824758240 (alk. paper)
2005041771
GBA504453 bnb
Primera Jornada de Catalogacion.
Mecatrónica.
Sistemas microelectromecánicos.
Robótica.
Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción.
Diseño en ingeniería.
Tecnología electromecánica.
Microelectromechanical systems--Design and construction.
Engineering design.
TK 153 / A425m 2005
621
Micro electro mechanical system design / James J. Allen. - Boca Raton : Taylor & Francis, 2005. - 465 p. : ill. ; 23 cm. - Mechanical engineering ; 192. . - Mechanical engineering (Taylor & Francis) ; 192. .
Incluye referencias bibliográficas e índice.
Ch. 1. Introduction -- Ch. 2. Fabrication processes -- Ch. 3. MEMS technologies -- Ch. 4. Scaling issues for MEMS -- Ch. 5. Design realization tools for MEMS -- Ch. 6. Electromechanics -- Ch. 7. Modeling and design -- Ch. 8. MEMS sensors and actuators -- Ch. 9. Packaging -- Ch. 10. Reliability.
0824758242 (alk. paper) 9780824758240 (alk. paper)
2005041771
GBA504453 bnb
Primera Jornada de Catalogacion.
Mecatrónica.
Sistemas microelectromecánicos.
Robótica.
Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción.
Diseño en ingeniería.
Tecnología electromecánica.
Microelectromechanical systems--Design and construction.
Engineering design.
TK 153 / A425m 2005
621